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Products
更新時間:2025-03-13
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產品介紹
產品手冊
響應式氣體流量控制，抑制壓力波動
性能良好的質量流量控制器只需將流量保持在您的設定值。艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能，確保相關產品能快速實現穩定控制。
多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。
性能
可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
可調比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
可重復性：0.2%滿量程
標準質量流量控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
最大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
MC-0.5
MC-1
MC-5
MC-10
MC-20
MC-50
MC-100
MC-200
MC-500
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